悬浮粒子(Suspended particles)，范围在0.1μm~1000μm的固体粒子和液体粒子。其浓度是评估洁净室洁净程度的重要指标，是洁净室分级的主要参数，对洁净室的设计、维护和使用有着重要的指导作用。当空间内洁净度超标时，会带来空间内微生物数量的上涨甚至超过规定的限值，从而产生产品质量方面的隐患。因此，控制好洁净度是洁净室使用中的重中之重。

  根据ISO14644-1、GB 50591-2010、GB 50073-2013等标准里关于洁净度级别的划分，我们通常用到的洁净度级别为：5级、6级、7级、8级，基本等同于常说的：100级、1000级、10000级、100000级。判定洁净度是否合格的粒子为:粒径(≥5μm)的颗粒(通常称为大颗粒)和粒径(≥0.5μm)的颗粒(通常称为小颗粒)的浓度(粒/m³)。

  表1 摘自ISO 14644-1

  一、颗粒物超标的原因

  悬浮颗粒浓度，是由“尘粒产生量”、“净化能力”以及“周边环境”这三个方面综合影响形成的动态平衡。

  1、尘粒产生量过大

  当洁净室内有大量产尘物体时，净化空调的净化能力无法快速稀释空气中的颗粒，造成洁净度级别超标。此时又分为三种情况:

  a.房间内有产尘量大的设备:

  b.房间卫生不好，清洁不彻底:

  c.房间内人员控制不力造成的人为污染，可能是人员过多、洁净服不够干净、洁净服穿着不符合规定等原因。

  2、净化能力不足

  洁净室的净化完全依靠净化空调机组的洁净送风，送风量越大换气次数越多，洁净室的洁净度越好。当洁净送风能力不足时，房间的净化能力也就不足，从而造成颗粒数量的上升，导致洁净度超标。此时也分为以下三种情况:

  a.送风量不足，换气次数不够，可能是初、中、高效过滤器堵塞造成送风量下降、送风机组频率变小、送风阀开度变小、新风量变小等原因;

  b.高效过滤器有泄漏，洁净送风不够洁净;

  c.房间的气流组织形式不合理，形成局部涡流与死角。

  3.周边环境影响

  周边相邻房当周边相邻房间的洁净度比较差甚至是低级别房间，而该房间与周边相邻房间之间的压差为负压时，周边相邻房间的空气进入该房间，带入大量颗粒，造成洁净度超标。这时需要查看压差表对改变负压环境的压力

  二、洁净室常见超标情况及原因分析

  1、大颗粒合格，小颗粒超标

  a.高效过滤器有泄漏

  b.房间内有产生大量小颗粒的尘源。

  2、小颗粒合格，大颗粒超标

  a.房间卫生不好，清洁不彻底

  b.房间内人员控制不力造成的人为污染

  c.房间内有产生大量大颗粒的尘源

  当我们找到了洁净度超标的原因，通过解决对应的问题一定能让洁净室恢复到设计水平，符合使用要求。